氦氣壓縮機(jī)是低溫泵系統(tǒng)或其他制冷單元的驅(qū)動單元，用于向低溫泵或其他制冷單元提供高純度氦氣。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體前道制程設(shè)備的蒸發(fā)、濺射和離子注入的真空系統(tǒng)，同時在天文、航天、醫(yī)療等領(lǐng)域也有廣泛的應(yīng)用。
氦氣壓縮機(jī)可以驅(qū)動不同尺寸的低溫泵，比如8英寸、10英寸和16英寸。氦氣壓縮機(jī)也可以用于不同制造商生產(chǎn)的低溫泵。