液氬氣化增壓系統(tǒng)是 將低溫液態(tài)氬氣通過氣化器與外界環(huán)境溫度進(jìn)行熱交換，通過緩沖罐緩沖進(jìn)入增壓機(jī)進(jìn)行升壓的氣源系統(tǒng)，系統(tǒng)對(duì)入口氣體溫度有一定要求，避免影響增壓機(jī)正常工作。此系統(tǒng)可為高純氣體輸送增壓試驗(yàn)應(yīng)用，減少氣體污染、降低損耗，通過后端配氣裝置調(diào)節(jié)到客戶使用..終壓力為止。