氦氣壓縮機(jī)廣泛用于石油化工、精細(xì)化工、醫(yī)藥化工、能源化工、機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)、農(nóng)業(yè)、畜牧業(yè)和國防工業(yè)。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體前道制程設(shè)備的蒸發(fā)、濺射和離子注入的真空系統(tǒng),同時在天文、航天、醫(yī)療等領(lǐng)域也有廣泛的應(yīng)用。
氦氣壓縮機(jī)是低溫泵系統(tǒng)或其他制冷單元的驅(qū)動單元,用于向低溫泵或其他制冷單元提供高純度氦氣。整機(jī)為撬裝式,設(shè)計(jì)..,制造精良,運(yùn)行穩(wěn)定,..可靠,噪音低,無泄漏,操作簡單,維護(hù)方便。
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